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第170章 EUV光刻機?
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    因爲我之前有過對90納米芯片使用的八英寸晶圓的改良經驗,所以提升晶圓的品質以及良品率交給我就行。”

    聽到林軒的話語,現場許多人紛紛點頭表示認可。

    確實,八英寸的晶圓相比六英寸的晶圓,最大的差別就是加工環節。

    同一時間段裏,使用八英寸晶圓生產芯片時能省下很多錢。

    如果不計較成本的問題,六英寸的晶圓確實可以用,而且有林軒說過會提升晶圓的品質,這樣就更好了。

    “所以接下來我們的任務,就是從晶圓切割之後的一系列生產製造問題”

    隨着林軒的話語落地,現場的人們也再次點點頭表示知道。

    隨後他們紛紛好奇地看着林軒,想看看林軒會怎麼安排任務給他們。

    不過此時的林軒卻沒有立馬安排任務,畢竟林軒對於現場許多人根本就不瞭解,怎麼能安排任務呢?

    所以需要林軒說了一下目前遇到的難題有什麼?

    他們這些人需要研發什麼設備,然後才能根據他們的意願以及他們擅長什麼而安排任科研務。

    “芯片的生產有着很多機器,但一些機器目前我們漢唐科技已經在採用一百五十納米的設備,這種設備改裝一下也能勉強夠用。”

    “因爲資金有限,所以我們的科研任務是放在絕對無法採購的核心設備,比如光刻機,刻蝕機,高能離子注入機,……”

    頓了一下,林軒輕聲接着道:

    “其中目前最難的就是光刻機以及刻蝕機,薄膜沉積設備,高能離子注入機。”

    “薄膜沉積設備,島國那邊處於世界領先地位,此外我們還必須得攻克薄膜沉積設備使用的化學材料。

    刻蝕機方面也是差不多的情況,目前最難的則是光刻機。”

    但這時候有人開口說道:

    “光刻機其實也不算難,光刻機說到底不過是設備精度與鏡頭還有掃描曝光系統的問題,在光源上我們的問題不大。

    我們大夏有世界領先的激光晶體KBBF,大夏在激光領域也是處於世界領先層次。”

    說話的是其中一名年輕的研究生。

    大夏許多科技雖然在世人的眼中一直是落後的狀態,但其實在一些特殊的領域,特別是軍l事領域其實並不弱。

    其實關於激光這東西大夏也早有研究,而且還有了自己的獨特成果,那就是激光使用的KBBF晶體!

    這KBBF晶體可不簡單,大夏發明它後可以說立刻站在了世界激光領域的前沿。

    其在二零零九年中斷KBBF晶體出售後,更是讓美迪國的激光研究被迫停止十五年!

    直到十五年後,他們才研究出新的激光晶體替代大夏的KBBF晶體,重新開始激光的大規模研究。

    所以大夏的激光技術實際上並不弱,無論是現在還是後世都處於世界領先一流層次。

    其中大夏的激光產品銷售也是長期達到了全球市場的百分之五十,可以說這是少有的技術領先情況!

    “不行,KBBF激光晶體造不了光刻機,KBBF晶體的激光太猛了,射出的激光(EUV)極深紫外光太過鋒利。

    一不小心就會損壞整個芯片無法使用,除非我們的控制精度與對準成像系統能達到讓人驚訝的程度,否則極深紫外光我們絕對無法使用。”

    目前市面上的光刻機採用的是紫外光源,紫外光源分爲紫外光(EV),深紫外光(DUV),極紫外光(EUV)。

    其中光源越到後面波長就越短,光刻的刀也就越鋒利,對於精度的控制要求就越高。

    所以目前世界上沒有光刻機採用極深紫外光(EUV),作爲光源製作光刻機。

    畢竟以目前幾十納米的製程工藝,也不需要這樣高精密的光刻機,目前絕大部分光刻機還是使用紫外光(EV)。

    只有最前沿的45納米制程工藝,才使用EUV之前的深紫外光源,也既是DUV光刻機。

    至於更下一步EUV光刻機,那目前更是沒有,之所以沒有,這是因爲目前沒有這方面的需求。

    當然真實原因是想研發這樣的EUV光刻機需要的成本也太高,不下於從零開始設計研發,所以目前市面上並沒有這樣的EUV光刻機出現。

    “沒錯,光刻機可不容易製造,你可能是其他領域的,所以有些想當然了,光是鏡片就能把我們卡死。”

    此時人羣前排的一個博士,也說出了想造光刻機不容易。

    在他看來光刻機最難的就是鏡頭部分。

    光刻機需要的鏡面誤差十分之小,鏡面誤差不能大於零點零五微米。

    這誤差的範圍用個形象的比喻,如果把鏡面誤差比喻成天涯海角島的話,那麼整個天涯海角島的平整度誤差不能大於十毫米!

    而最爲恐怖的是這樣的鏡片不只是一個,因爲鏡片這東西其實是有成像誤差的,這成像誤差在光刻生產環節的影響十分之嚴重。

    因爲偏差一點就會把整個芯片損壞,畢竟那可是幾十納米的大小,光照到了不該照的地方,最後製造成成品時肯定會短路!

    所以爲了解決成像誤差,光刻機就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。

    這也是爲什麼很多昂貴的攝像機或相機的鏡頭,爲什麼會那麼長。

    原因其實和光刻機面臨的問題一樣,爲了解決成像誤差的問題,所以相機鏡頭裏面有着非常多的鏡片!

    這些鏡片都是高精度鏡片,相互之間精度要求非常之高,所以會出現一個鏡頭會比相機還貴的現象。

    而且別的不說,就說後世的手機鏡頭模塊裏面,其實有着五到六片鏡片!

    而光刻機自然比相機與手機鏡頭要求高,所以現在的光刻機隨着越來越深入幾十納米的層次。

    要求越來越高,鏡片的數量也越來越多,目前的光刻機鏡片已經達到了十六到二十個鏡片。

    此時的人們不知道的是,在後世能生產幾納米芯片的EUV光刻機鏡片已經達到了二十九個!

    這也是爲什麼林軒情願花費一億資金,也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。

    因爲這些鏡片的要求太過嚴苛,爲了那幾個專精於鏡面打磨的八級工,林軒也是捨得出一億的資金把他們買下來!

    “我們還是讓林軒先生來決定到底怎麼樣吧。”

    人羣的前排中,王院士看着隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們,他緩緩開口說着。

    隨着王院士的開口,瞬間,現場陷入了寂靜。

    隨後人們將視線看向了林軒這裏,在上千雙眼睛的注視下,林軒也是緩緩開口道:

    “關於光刻機的問題,我的決定是直接放棄深紫外光(DUV)光刻機,直接研發極深紫外光(EUV)光刻機!

    而且EUV光刻機還沒有太多公司進入這個領域,在這個領域中也沒有太多專利,正好方便我們自由發揮設,設計難度也大幅降低。”

    聽到林軒的決定,現場頓時有博士搖頭不認同直接跳過EUV光刻機,直接研發EUV光刻機這點。

    “林先生,雖然因爲有KBBF晶體的原因,我們在光源上有優勢。

    但鏡平還有成像定位系統可是一個難題,而且光刻機的零件性能要求十分之高,精度也十分之高,這種程度的要求我們能造得出來嗎?

    我不是說設計的問題,而是我們有那個材料,有那個加工精度嗎?”

    隨着那個發出質疑的博士話語,現場陷入了絕對的寂靜。

    確實,國外爲什麼比我們先進,原因就是他們除了擁有豐富的工人隊伍。

    也就是有着龐大的八級工九級工隊伍外,他們機器上的精度也十分驚人!

    光刻機是一個涉及全領域的東西,它涉及光學,機械,材料,化學等等全方面的領域,被人稱呼爲工業之花。

    許多東西,大夏如果想設計的話也是可以設計出來,但能設計卻加工不出來啊!

    雖然有八級工九級工的存在,但八級工與九級工能造幾個東西?

    這個時候,看着陷入沉默的人們,何祕書也是適時的發話道:

    “加工精度上不用擔心,因爲我們相比“兩旦一星”的艱難時期已經有了很大的變化!

    雖然我們機器的加工精度不行,但我大夏有着龐大的工人隊伍!”

    說到這裏的何祕書笑着說道:

    “這次上面爲了攻克45納米制程工藝也是下狠了心,某位老人還特別發話無論要什麼都全力支持,無論是軍或民都要全力配合。

    所以無論是國l營廠還是軍公廠,只要你能設計出來並且你們支付了委託費用,那我都會幫你們打通環節,就算用手工硬堆,也要堆出你的零件!

    此外材料問題也不用擔心,這次上面也是下狠了心,爲了我大夏能將半導體制程工藝推進到45納米分層次。

    只要漢唐科技給錢,某些辛苦收集來的戰略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用,所以材料問題你們不用擔心。

    只要我們有的我們就立馬給你,我們沒有的,我們會想方設法地弄給你們!”

    聽到陳祕書的發言,現場陷入了絕對的寂靜!

    所有人的眼中都露出了驚駭的眼神,沒有想到上面竟然如此重視!


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